MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應答、高再現性的真空壓力控制。也可以通過前面板進行設定，操作性非常容易。另外，由于CE標志、RoHS對應產品，被世界上所有產業(yè)的量產設備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R將制造裝置中的真空室進行真空排氣時，通過改變閥門電導，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。

GOOT太洋電機產業(yè)，HACHIKO八光電機制作所，YOKOGAWA橫河電機，WATANABE渡邊電機工業(yè)，TOGAMI戶上電機制作所，KASUGA春日電機株式會社，OTOWADENKI音羽電機工業(yè)株式會社，AICHIDNK新愛知電機制作所，OKAYAELEC岡谷電機產業(yè)株式會社，TOSHIBA東芝產業(yè)機器システム株式會社，

NIKKO日幸電機制作所，FUKUDADENKI福田電機制作所，KYOEIDENKI協榮電機，NIHONDENKISANGYO日本電機產業(yè)，SATORI佐鳥電機，SHINOHARA篠原電機，TSURUTA鶴田電機，NUNOME布目電機，FUJIELECTRIC富士電機機器制御，FUJIDK不二電機工業(yè)，**電機，MIZUDEN水谷電機工業(yè)，WATANABE渡邊電機工業(yè)，OJIDEN大阪自動電機株式會社，YAMAMOTO山本電機株式會社，KAMIUCHI（株）神內電機制作所，SANEIKOSYO三栄工業(yè)（株），MITSUBOSHI三ツ星ベルト,EXTION中國臺灣大內,TERAUCHI株式會社寺內製作所

NPASYSTEMエヌピーエーシステム株式會社,BELLPONYベルポニー株式會社,MURAIKIKIムライ機器株式會社,URAS TECHNOユーラステクノ株式會社,KIKOH技研株式會社,MAXPULLマックスプル工業(yè)株式會社,KYUSHU HASEC九州ハセック,NIPPON GEAR日本ギア工業(yè),NSSK日本スタンドサービス,東京變速機,KAMUI神威產業(yè),KOGI虹技株式會社，NAKASEIKI仲精機株式會社,SICマーキング社刻印機